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卓越したクリーン特性を持ち、高温化でのアウトガスが他のスーパーエンプラに比べて少なく、半導体をはじめとするクリーンな用途への使用が可能。また耐熱性・耐薬品性にも優れています。
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卓越したクリーン特性を持ち、高温化でのアウトガスが他のスーパーエンプラに比べて少なく、半導体をはじめとするクリーンな用途への使用が可能。また耐熱性・耐薬品性にも優れています。